元智大學 機械系 奈微米共同實驗室

奈微米機電加工技術已被視為發展由上而下(Top-down)工法之奈米技術的最佳載具,本系以跨領域方式,將奈微米共同實驗室為製程技術平台,結合本校內具有燃料電池、奈米材料、生物科技、微機電系統製程、電機、通訊、化材、工業工程、資環等專長領域的師資,進行系統的設計整合與相關之研究工作,如圖一所示。 元智大學機械系NEMS共同實驗室規劃之設備採集中管理,在2008年12月正式完成相關機台建置與刷卡管理系統,人員皆須通過考核制度始具有使用權限,希望藉由「NEMS」共同實驗室及相關奈微米共同製程設備平台加速建置完成,使各儀器都能充份的被使用,以做為推動跨研究中心及跨系所整合性研究所用,有效提高運用技術資源及設備,並提昇學校研發能量及人才培育效益,避免設備重覆投資及資源浪費。 提供燃料電池中心及通訊中心執行「邁向頂尖大學計劃」之製程技術共通平台,以建立資源共享亦共管。透過此製程技術共通平台快速建立,整合校內、外教授專長建構具特色且競爭力之研究團隊,達成校內、外跨領域研發人才之交流及腦力激盪。積蓄奈微米研發能量增強對外爭取大型及國家整合型計畫競爭力,結合產業界共同研發奈微米相關技術與產品,進而開發出燃料電池、無線通訊系統、CMOS-MEMS、RF-MEMS、Optical-MEMS及Bio-MEMS等奈微米機電系統主力產品。 目前「NEMS共同實驗室」已投入逾兩千五百萬元,包括雙面對準曝光機、原子力顯微鏡、奈米壓痕機、旋轉塗佈機、烤箱、酸、鹼、有機濕蝕刻槽、數位式光學顯微鏡、光學顯微鏡、超音波震洗機、加熱板、加熱攪拌器、恆溫/恆濕試驗機、恆電位儀、微電化學加工設備、電鑄設備、LCR meter、無塵室(黃光室class 1000、其它區域class 10000)、表面輪廓儀及射頻磁控濺鍍機、電子束蒸鍍系統等。 除了可強化及加速機械系教授的研究成果外,可支援工學院及電通學院學程之實習課程以提升教學品質,如:半導體電子製造學程、積體電路設計第二專長學程、生物材料科技學程、生醫光機電學程、燃料電池技術學程、奈微米系統學程(預計新開學程)。亦可支援系上課程如:奈米科技概論、微機電製程與設備概論、微機電系統與檢測技術、微致動器原理、機械工程實驗(四)-精密量測、微機電量測技術及微感應器設計與製造。 此外,也針對業界需求提供相關代工服務,將資源做更有效運用;未來尚規劃有關奈微米加工技術陸續建立的實驗設備,如晶圓切割機、反應性離子蝕刻機、Parylene鍍膜機、電化學蝕刻機、紫外線/可見光分光光譜儀及共焦表面輪廓儀等,期盼將整體技術平台升級並將製程做更完善運用。