濺鍍機 (sputter)

國立台灣大學 機械工程學系 臺大機械系儲能元件實驗室

薄膜濺鍍

最低使用時間:2小時

服務項目分類: 
電鍍
廠牌型號: 
JUNSUN MGS-500
購買日期: 
2013年1月
加工精度及限制說明: 

濺鍍源 2'' Dia 濺鍍源 * 3ea~4ea
RF 600w * 1ea
DC 500W * 2ea
單片式 4'' Wafer
加熱裝置300度 or 800度

收費標準: 

2600元/2小時

設備:
濺鍍機 (sputter)(俊尚科技股份有限公司)

濺鍍源 2'' Dia 濺鍍源 * 3ea~4ea

RF 600w * 1ea

DC 500W * 2ea

單片式 4'' Wafer

加熱裝置300度 or 800度

 

設備照片:
1 個評價 
Charles Chuang

劉俊廷

服務品質好,速度快,高效率
2016-10-13
關於服務提供單位
國立台灣大學 機械工程學系 臺大機械系儲能元件實驗室
國立台灣大學 機械工程學系 臺大機械系儲能元件實驗室
電子郵件信箱:mhliaoa@ntu.edu.tw
聯絡電話:02-33664484
註冊日期:2016-05-11