電子鎗真空蒸鍍系統 E-GUN

國立台灣大學 機械工程學系 臺大機械系儲能元件實驗室

薄膜蒸鍍

最低使用時間:2小時

服務項目分類: 
電鍍
廠牌型號: 
控制器ULVAC CRTM-6000G 真空泵ULVAC DIS-251 冷卻系統設備KAUKAN KW-2KPTS
購買日期: 
2015年7月
加工精度及限制說明: 

Water Chiller KW-2KPTS
Pumping System MAIN:(TMP) TURBOVAC361
BACK:(SP) DIS-251
Vacuum Gauge System Turbo.Drive TD20 classic
Chamber
Thickness Control System CRTM-6000G
E-beam Source  電子束源:EGK-3M
電源供應器:HPS-510S

收費標準: 

2700元/2小時

設備:
電子鎗真空蒸鍍系統 E-GUN(ulvac)

Water Chiller KW-2KPTS

Pumping System MAIN:(TMP) TURBOVAC361

BACK:(SP) DIS-251

Vacuum Gauge System Turbo.Drive TD20 classic

Chamber 

Thickness Control System CRTM-6000G

E-beam Source  電子束源:EGK-3M

電源供應器:HPS-510S

 

設備照片:
關於服務提供單位
國立台灣大學 機械工程學系 臺大機械系儲能元件實驗室
國立台灣大學 機械工程學系 臺大機械系儲能元件實驗室
電子郵件信箱:mhliaoa@ntu.edu.tw
聯絡電話:02-33664484
註冊日期:2016-05-11