利用液態性氬氣，採用火花放電來激發試片，分析化學性質。

採用火花放電方式來激發試片，所以試片表面的處理就會造成分析上的偏差，例如表面凹凸不平、污染、氧化、或夾渣，各式材料及針對欲分析物質元素有不同的表面處理方式，一般分析上如果無特殊需求，鐵合金、銅合金會使用研磨方式，鋁合金使用車床。一般分光儀標準試片均會標示為鑄造試片或鍛造試片或其他，所以在製做檢量線時均會使用這些試片，測試片一般均為爐中取樣之鑄造試片，但有時可能取得表面已經處理過，如電鍍或熱處理過的試片，其表面組織或密度均會造成分析的誤差。再者在爐中取樣時，爐中之溫度、時間、上層、下層、均質度，均會影響試片之分析。