晶圓切割機

國立成功大學 微奈米科技研究中心

係利用不同材質刀具,進行不同材質基板,如玻璃、石英及高分子等基板的切割,並配合高速旋轉的主軸馬達,加上精密視覺定位系統,可將晶圓上已完成的電路晶片切割分離。

廠牌型號: 
Disco DAD-321
加工精度及限制說明: 

限制說明:

  • 試片材質以玻璃、石英、矽基板、LiNbO3等為主,恕不受理藍寶石基板之切割,委託者必須自備刀片(可至本中心購買)
  • 試片大小限制為2~6 inch及破片需大於3 cm* 3 cm
  • 試片厚度必須小於2.5 mm
  • 切割道寬度必須大於200 um
  • 主要功能:
  1. 可沿基板上元件與元件之間做精密切割
  2. 電腦化控制,可單次進行6種不同切割尺寸之切割,最小切割尺寸為1 mm* 1 mm
收費標準: 

學界 1,550/hr.

業界 2,330/hr.

設備照片:
關於服務提供單位
國立成功大學 微奈米科技研究中心
國立成功大學 微奈米科技研究中心
電子郵件信箱:z10008057@email.ncku.edu.tw
聯絡電話:06-2757575#31380
註冊日期:2017-05-17