聚對二甲苯沉積系統
Parylene是一種高分子物質，具有高抗拉強度和降伏強度，其特性有抗腐蝕、防水、抗無機的強酸和強鹼等環境，耐溫130°C，且在150°C以內無法溶解於任何有機溶液， 其摩擦係數相當低（0.25~0.30），可有效改善Target的摩擦力和靜態阻力。製程優點：Parylene利用汽相沉積的方式在物體表面形成薄膜，附著力和均勻度佳且可以沉積非常薄（0.1~50 microns），製程中不會有應力殘餘。
廠牌型號：
雙程科技 / PDS 2010
加工精度及限制說明：
最大試片尺寸：4" X 4pcs or 8" X 1pc
收費標準：
學界 1,270/hr.
業界 1,900/hr.
設備照片：
關於服務提供單位
