精密離子研磨機(Gatan PIPS model-691)
- 離子源:雙Ar離子槍
- 角度範圍:+10度 ~ -10 度(每一離子源)
- 離子源能量範圍:1.5kev ~ 6kev
- 基座旋轉速度:1rpm ~ 6rpm
- 氣體流量:Ar 25psi
- 艙體壓力:5 × 10-6 torr
- 工作壓力:8 × 10-5 torr
- 離子源:雙Ar離子槍
- 角度範圍:+ 10度 ~ - 10度 (每一離子源)
- 離子源能量範圍:1.5kev ~ 6kev
- 基座旋轉速度:1rpm ~ 6rpm
- 氣體流量:Ar 25psi
- 艙體壓力:5 × 10-6 torr
- 工作壓力:8 × 10-5 torr