桌上型掃描式電子顯微鏡(Tabletop SEM)

國立成功大學 微奈米科技研究中心

用二次電子(Secondary Electrons Image, SEI)進行影像觀察及尺標量測,對於表面輪廓可得到良好的影像品質。

廠牌型號: 
HITACHI TM100
量測精度及限制說明: 

1. 放大倍數:20至10000x

2. 加速電壓:15kv

3. 檢測器:高品質半導體反射電子探測器

4. 觀察模式:防靜電模式(低真空模式)

5. 體積限制:試片的尺寸大小切勿超過圓形載具的直徑25mm,高度不得超過載具水平面以上20mm。

收費標準: 

學界 1,270/hr.

業界 1,900/hr.

設備照片:
關於服務提供單位
國立成功大學 微奈米科技研究中心
國立成功大學 微奈米科技研究中心
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