場發射電子顯微鏡(FE-SEM)

國立虎尾科技大學 研究發展處 微奈米科技共用實驗室

功能說明
1.
表面結構之觀察(SEI, BEI)
2.EDS
元素分析

 

 

廠牌型號: 
JEOL JSM-7500F
購買日期: 
97.12.15
加工精度及限制說明: 

 1.解析度
a.1 nm (Acc. V=15 KV, WD=3 mm)
b.1.4 nm (Acc. V=1 KV, WD= 1.5 mm)

2.加速電壓範圍:0.1~30 KV

3.電子槍:Cold Field Emission Electron Gun

限制說明

1.試片不得具有磁性、揮發性、及腐蝕性。
2.
試片大小不得大於直徑24 mm
3.
試片厚度不得超過2.8 mm

4.場發射電子顯微鏡(FE-SEM)不得拍攝高分子及有機材料,以避免儀器汙染,未事先告知者將馬上停止拍攝,並酌收1500元開機維護費。

 

收費標準: 

 

委託操作費用($/hr):1500/3hr (基本開機費3小時起算)

試片鍍白金:200/(60秒以內) 
EDS
量測每點100

設備照片:
關於服務提供單位
國立虎尾科技大學 研究發展處 微奈米科技共用實驗室
國立虎尾科技大學 研究發展處 微奈米科技共用實驗室
電子郵件信箱:rsh1@nfu.edu.tw
聯絡電話:05-6315930
註冊日期:2017-12-21