本儀器擁有光學顯微鏡的方便性,亦具備SEM與表面粗度儀之分析功能,搭配分析軟體可進行非接觸多樣化的量測功能,可進行2D及3D物件之特徵形狀與表面粗糙度量測。
1.倍率 : 目鏡 20X,物鏡 10、20、50、150X
2.最大放大倍率 : 3000倍
3.量測範圍 : 10 X (1350 * 1020 μm) 20X (675 * 560 μm) 50X (270 * 202 μm) 150X (90 * 67 μm)
4.Z軸解析度 : 0.001 μm
5.畫面像素 : 2048 * 1536、1024 * 768 6.雷射波源 : 紫光雷射 (波長 408 nm)
以量測總時數計價,每小時900元,最低量測時數:1小時。