國立臺灣大學 機械工程學系 精密製造中心
本儀器用來檢測精密至超精密加工件的真圓度及與圓軸相關的幾何精度,如同心度、圓柱度、偏心度、真直度、部份圓、垂直度等。
1.旋轉臺:直徑 300 mm
空氣軸承
解析度 0.02
2.垂直軸功能:長度 500 mm
解析度 0.25 um
3.水平軸功能:水平臂行程 200 mm
直線性精度 0.25 um
4.探頭球徑:(1, 2, 4) mm
量測範圍:+/- 1 mm
解析度:0.03 um
以量測總時數計價,每小時1000元,最低量測時數:1小時。