檢測精密至超精密加工件之平面、球面及非球面工件的形狀精度與表面粗糙度
1.水平軸功能 (X) : 行程 : 200 mm 取樣間距 : 0.125 ~ 1 μm 最大直線度誤差 : 100 nm
2.垂直軸功能 : 量測範圍 : 12.5 nm 解析度 : 0.8 nm 探針 : 2 μm radius diamond stylus 量測重複性 : 0.05 μm
3.系統功能 : 系統雜訊(RMS) : 1 nm 傾斜角量測不確定性 : 0.5 arc min (±35)
以量測總時數計價,每小時1500元,最低量測時數:1小時。