X射線光電子能譜儀 (XPS/ESCA)
1.表面分析(Surface survey)：樣品表面之成份分析。
2.表面化學組態分析(Narrow scan)：樣品表面之元素化學組態鍵結分析。
3.縱深分析(Depth Profile)：樣品表面以 Ar 離子濺蝕，分析不同深度的元素 成分及比例之縱深分布。
4.圖譜分析(Mapping)：檢測樣品表面分析區域的元素訊號，得到分析區域表面之元素分布影像圖。
5.線掃描(Line scan)：檢測樣品表面直線距離的元素訊號，得到直線距離表 面之元素分布圖。
6.角度解析分析(Angle-resolved Analysis)：檢測薄膜樣品在不同角度之表面 成份鍵結分析。(分析角度區間:0°~60°，角度間隔:10°)
廠牌型號：
Thermo Fisher Scientific K-Alpha X-ray photoelectron spectrometer
購買日期：
2011年
量測精度及限制說明：
1. X光光源(X-ray Source)：Al K-α
2. X-ray Spot Size：30μm~400μm
3. 真空系統(Analysis chamber ultimate vacuum)： 5 x 10-9 mbar
4. 電荷補償系統(Charge Neutralization) Flood Gun
5. 離子噴濺系統(Ion Sputtering)：Ar+ Ion Gun (0.2 KeV~3 KeV)
收費標準：
<學術單位>
6300元/3小時
12600元/7.5小時
<財團法人與廠商>
8925元/3小時
17850元/7.5小時
設備照片：
關於服務提供單位
