1. 輪廓量測:高度、寬度、截面積、形狀角度、R值測量。
2. 粗糙度量測:直線粗糙度、表面粗糙度量測。
3. 3D量測:體積、表面積、表面積比率量測。
4. 自動寬度量測:自動寬度、自動高度量測。
5. 比較性量測:可顯示兩目標物的重疊截面輪廓,並量測它們在寬度、高度以及截面上的差異。
6. 2D+3D量測。
7. 透明薄膜量測:區域薄膜厚度量測、透明物體最外層表面觀察。
1. 解析度:1 nm
2. 顯示器倍率:200, 400, 1000, 3000
3. 物鏡倍率:10x, 20x, 50x, 150x
4. 用於量測的雷射光速光源:紫光雷射408 nm
5. 光學變焦:1x ~ 6x
<學術單位>
1733元/小時
<財團法人與廠商>
2100元/小時