元智大學 機械系 奈微米共同實驗室
光阻塗佈
1. 試片最大尺寸:4″ 2. 數位操作面板:可輕易的設定轉速、加速度及時間 (20段51步驟設定,100-6,000rpm)
開機費:113元
額外加收2.27元/分
備註
1. 校外學術單位,基本收費 × 1.5
2. 校外營利單位,基本收費 × 3