元智大學 機械系 奈微米共同實驗室
光罩與晶圓對準曝光顯影
1.功率:200W 2.光束尺寸:4″ round 3.試片最大尺寸:4″ 4.最小線寬:2µm
開機費:454元
額外加收13.61元/分
備註
1. 校外學術單位,基本收費 × 1.5
2. 校外營利單位,基本收費 × 3