電子束蒸鍍機
利用電子束轟擊並加熱靶材，使靶材表面材料蒸氣壓升高並進行鍍膜
廠牌型號：
Junsun Technologies Co. EBS-500
購買日期：
2008年
加工精度及限制說明：
1.極限壓力: 5 x 10-7 torr (within 12 hour)
2.操作壓力: 5 x 10-6 torr (within one hour)
3.試片最大尺寸：4″ (max. 7pc)
4.最高溫度：250°C
5.旋轉速率：2 to 40 rpm
收費標準：
開機費:907元
額外加收20.41元/分
備註
1. 校外學術單位，基本收費 × 1.5
2. 校外營利單位，基本收費 × 3
設備照片：
關於服務提供單位
