表面輪廓儀
以探針進行物體表面輪廓測量
廠牌型號：
KLA-Tencor P-16+
購買日期：
2008年
加工精度及限制說明：
1.最大水平掃描範圍：200mm
2.橫向解析度：X = 25nm、Y = 1µm
3.最大垂直掃描範圍：1mm
4.垂直解析度：< 1Å
5.掃瞄速度：2 μm/sec to 25 mm/sec
收費標準：
開機費: 453元
額外加收13.61元/分
備註
1. 校外學術單位，基本收費 × 1.5
2. 校外營利單位，基本收費 × 3
設備照片：
關於服務提供單位
